RTP滑动式快速退火炉
- 产品描述
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产品用途：
该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验。
产品特点：
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；温控精度高，最大升温速率30℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。
技术参数：
产品名称
RTP滑动式快速退火炉
产品型号
RTP-G11103-K
额定功率
9KW
最高温度
1000℃
工作温度
950℃（＜1小时）
石英管尺寸
Φ110*360mm
加热区长度
190mm
恒温区长度
100mm
加热元件
红外灯管
温度控制
国产程序控温系统可编辑50段程序控温
控温定度
±1℃
炉管材质
石英管
滑动距离
355mm
滑动方式
手动
建议升降温速度
30℃-50℃/min
外形尺寸
565*960*665
关键词：
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联系方式
地址: 天津北辰科技园区双川道11号
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